実用化が進むMEMSマイクロミラー(<特集>身の回りのマイクロ・ナノ技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2013-01-05

著者

• 佐々木 敬

  東北大学ナノメカニクス専攻

• 羽根 一博

  東北大学ナノメカニクス専攻

関連論文

• 実用化が進むMEMSマイクロミラー(身の回りのマイクロ・ナノ技術)

スポンサーリンク