センサ・リレー/スイッチへのMEMS技術応用(<特集>身の回りのマイクロ・ナノ技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2013-01-05

著者

• 積 知範

  オムロン(株)技術・知財本部PMEMSプロジェクト

関連論文

• センサ・リレー/スイッチへのMEMS技術応用(身の回りのマイクロ・ナノ技術)

スポンサーリンク