Bag-of-Keypointsを用いた半導体欠陥画像分類(テーマセッション,実世界文字認識と理解)
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概要
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Bag-of-Keypoints (BoK)は画像分類を行うためのアルゴリズムである.このBoKはScale-Invariant Feature Transform (SIFT)を応用した技術で,様々な画像に対してその有効性が報告がされている.本稿では,半導体を製造する過程で発生した欠陥の画像を対象として,BoKを応用した分類手法を提案する.まず,欠陥箇所を撮像した複数の画像から背景を消去しておき,次に全ての欠陥部位から得られるキーポイントの総数が最大となるようにSIFTパラメータを調整する.これにより分類に直接寄与しないキーポイントの検出を抑制する一方で,分類対象である欠陥から必要なキーポイントを検出させることができる.半導体ウェーバ外観検査装置により得た欠陥画像を用いてシミュレーションを行った結果,工場ラインの人間が目視で分類したときと同程度の分類精度を得た.
- 2011-12-08
著者
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