テラヘルツ撮像センサと可搬型カメラの開発(招待講演,ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム)
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概要
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23.5umピッチ、画素数320×240の非冷却テラヘルツ(THz)撮像センサとイメージングカメラの開発を行った。撮像センサは広帯域用と狭帯域用の2種類である。広帯域用のテラヘルツ撮像センサでは、ノイズ等価電力(NEP)の改善のため、センサにいくつかの改良を加えた。また、狭帯域用センサでは、広帯域用センサのMEMS画素上の1/2波長となる距離の位置に新構造となるシリコンカバーを実装開発し、センサ感度が3倍向上することを確認した。ロックインイメージング機能を開発し、S/N比がフレーム積分回数の二乗根に比例して増加することがわかった。これらの改良を加えた非冷却撮像センサを用いてTHz帯の有用性を確認するためのTHz撮像実験を行った。その結果について述べる。
- 2011-12-07
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