(7)縦型SiCエピタキシャル成長装置の開発(技術奨励,日本機械学会賞〔2011年度(平成23年度)審査経過報告〕)

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概要

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• 2012-05-05

著者

• 佐々木 隆史

  (株)日立国際電気

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