大規模集積回路半導体の歩留まりと検査起因品質に関する考察

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概要

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• 半導体製造において,歩留まり向上と品質向上は,製造コストを低減させ,顧客を満足させる上でも最重要事項として取り組まなければならないことである.本論では,これらの理論と課題について考察する.

• 2012-01-01

著者

• 平瀬 潤一

  (独)科学技術振興機構

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