1A1-C31 静電インクジェットを用いたマスクレス回路描画技術の開発
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概要
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We have been developing a mask-less printing technology for microelectronic circuits utilizing an electrostatic inkjet system. Drops of paste that contained Ag nano-particles were injected on a substrate by the electrostatic force to form electrode patterns. The formation of the drop was controlled by the application of pulse voltage between the plate electrode and a fine tube that contains Ag paste. It was demonstrated that line electrodes of 200 μm pitch were successfully printed on a glass substrate. A multi-layered printing was also realized by overcoating glass paste on the electrode.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
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