ミリ波マイクロスコピー用高分解能スリット型プローブの開発
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概要
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方形金属導波管を用いたミリ波マイクロスコピー用スリット型プローブの高分解能化,高感度化に関する検討を実施した.新たなプローブとして,従来機械工作で製作しているスリット型プローブの先端に,バルクマイクロマシン(半導体プロセス)技術で製作したより微小なスリット開口を有するシリコン製チップを装着する構造を提案する.本チップの設計,製作方法について説明し,実際にチップを装着したプローブの特性評価実験の結果により本プローブ構造の有効性を実証する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2010-12-09
著者
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