水熱合成法によるZnOバルク結晶育成(<特集>高圧力下での結晶成長)
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概要
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人工水晶の製造方法である水熱合成法を用いてZnO単結晶育成を行い製造されたZnO結晶の結晶性,不純物濃度,電気特性及び光学特性を評価した.各結晶領域において不純物濃度等に異なる物性を示すことがわかった.また,近年InGaN系緑色LED用基板として2インチノンポーラ(非極性基板)の結晶育成も行った.その物性も併せて報告する.
人工水晶の製造方法である水熱合成法を用いてZnO単結晶育成を行い製造されたZnO結晶の結晶性,不純物濃度,電気特性及び光学特性を評価した.各結晶領域において不純物濃度等に異なる物性を示すことがわかった.また,近年InGaN系緑色LED用基板として2インチノンポーラ(非極性基板)の結晶育成も行った.その物性も併せて報告する.