ディスプレイ用塗布型有機絶縁膜の開発 : aSi TFT用感光性塗布型有機保護膜(ディスプレイ用新材料)

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概要

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液晶などのディスプレイのTFTアレイ製造において、製造設備投資額やランニングコストの低減を可能とする、塗布型有機材料への期待が高まっている。現在でも広く使用されている化学的気相製膜法(Chemical Vapor Deposition,以下CVDと略す)で製膜された無機膜に比べ、有機膜は吸水しやすいなどの問題を有していたため、その使用範囲は限定的である。今回我々はこの問題を解決し、aSiTFT用の塗布型有機保護膜を開発した。この保護膜を用いたTFTデバイスは、ディスプレイの製造コストを低減し、さらにデバイスの低消費電力化を可能とするものである。
2011-02-25

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