酸化ガリウムのアンモニア窒化における反応機構と窒化ガリウムナノ粒子およびナノロッドの作製(<特集>ナノ結晶の成長と新機能)
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概要
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酸化ガリウムを600〜1000℃の高温でアンモニアガスによって窒化すると,窒化ガリウムが得られる.著者らは出発試料である酸化ガリウム粉末に窒化ガリウム粉末もしくはアルミナ粉末を加え,アンモニアで窒化することで窒化ガリウムのナノ粒子もしくはナノロッドが生成することを見いだした.本稿ではアンモニアによる酸化ガリウムの窒化機構について解説し,ナノ粒子とナノロッドの作製法を紹介する.
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