H31 非点収差法を利用したマイクロタッチプローブ : 光学系設計とシミュレーションによる感度解析(H3 加工(加工・計測)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2009-03-18

著者

• 清水 浩貴

  九工大

• 佐々木 啓成

  九工大院

• 田丸 雄摩

  九工大

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