透明導電性酸化物に微細金属配線を配置したコプレーナ線路に関する検討
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概要
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透明コプレーナ線路として,透明導電性酸化物の上部に微細金属配線を配置した構造を検討した.本構造により,透明導電性酸化物のみの線路と比較して通過特性が60GHzで15dB向上することを電磁界シミュレーションで明らかにした.
- 2010-12-01
著者
-
和田 光司
電気通信大学電子工学科
-
羽田 肇
九州大学大学院:物質・材料研究機構物質研究所
-
和田 光司
電気通信大学
-
羽田 肇
National Institute For Materials Science (nims)
-
荻野 剛士
太陽誘電株式会社
-
中島 邦彦
太陽誘電株式会社
-
大橋 直樹
九州大学大学院量子プロセス理工学
-
大橋 直樹
九州大学大学院量子プロセス理工学:物質材料研究機構
-
羽田 肇
九州大学大学院量子プロセス理工学:物質材料研究機構
-
荻野 剛士
太陽誘電株式会社:九州大学大学院量子プロセス理工学
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