J0302-1-5 XY軸ステージ用ビームの軽量化設計(DEを活用した最適構造設計システム)

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概要

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• Our objective is to develop a high-speed and high-accuracy XY-axes stage driven by linear motors. What is necessary for this objective is to design a light-weight and high-stiffness beam structure, which supports a mobile object moving along the X-axis and runs along the Y-axis. To solve a trade-off problem, which is a combination of decreasing the beam mass and increasing the beam stiffness, we tried to apply not a dimension optimization method but a topology optimization method. We used OPTISHAPE-TS[○!R] solver as the topology optimization method. We set three objective functions, which depends on three load conditions. We set four patterns of design region, for we take an influence by the attachment positions of other components into consideration. Finally, we could develop a new cross section shape of the beam.

• 2009-09-12

著者

• 山口 正樹

  (株)日立ハイテクインスツルメンツ

• 井村 真

  (株)日立・機械研

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