306 酸化シリコン薄膜を用いたダイヤモンドの研磨 : 研磨雰囲気の研磨能率への影響(OS3-1 高精度・高度化加工技術1,オーガナイズドセッション:3 高精度・高度化加工技術(塑性加工,機械加工および周辺技術))
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- 2009-03-01
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