タンデム型薄膜シリコン太陽電池一貫製造ライン(<特集>太陽電池材料の結晶工学:結晶成長を中心に)
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概要
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薄膜シリコン太陽電池は,ガラスにアモルファスシリコン膜,或いは微結晶シリコン膜を形成して作られる.当社では,アモルファスシリコン膜を使用した年間25MWの単接合型太陽電池パネルを製造するラインを15ライン受注し,既に9ラインの設備を客先に引き渡した(2009年11月現在).現在はより効率の高いアモルファスシリコン膜と微結晶シリコン膜を組み合せた多接合型(タンデム型)太陽電池パネルを製造する年間32.5MWラインの販売を開始している.当社の製造ラインの特長は,光電変換薄膜および裏面電極を形成するプラズマCVD装置およびスパッタリング装置にあり,高性能,高信頼性,高生産性を実現している.社内に実寸法基板を流せる試作ラインを持つ他,装置メーカーとして初めてパネルの評価センターも設置し,新しい材料の開発にも着手している.