有機シラン化合物のプラズマ重合による薄膜の生成

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 静岡大学の論文

著者

• 山田 泰美

  静岡大学工学部材料精密化学科高分子材料研究室

• 山田 泰美

  静岡大学大学院電子科学研究科

関連論文

• SiO_x薄膜合成におけるリモート酸素プラズマの効果
• 有機シラン化合物のプラズマ重合による薄膜の生成

スポンサーリンク