4.結晶シリコン太陽電池におけるセル製造ラインの改革(<小特集>次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)

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概要

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• 結晶シリコン太陽電池の低コスト化で重要なセルの高効率化と薄型化に対応した製造プロセスを概説する.また,関連してその高効率化に不可欠なSiN膜とSiO膜の形成に用いられるプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)にも言及する.

• 2009-12-25

著者

• 上野 剛志

  株式会社ファシリティ

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