3.結晶シリコン太陽電池における界面不活性化膜(<小特集>次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)

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概要

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• 結晶シリコン太陽電池の高効率化には表面および裏面の不活性化(パッシベーション)が重要である.薄型基板の場合には,裏面パッシベーションが特に重要である.本章では表面および裏面パッシベーションと太陽電池の効率の関係について述べたのち,プラズマCVDによるパッシベーション膜についてまとめる.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2009-12-25

著者

• 宮島 晋介

  東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻

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