PA-6 電子線超音波顕微鏡の解像度向上への試み(P.ポスターセッションA-概要講演・展示)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1994-11-28

著者

• 小林 睦生

  Mitsubishi Electric Engineering Co. Ltd.

• 小林 睦生

  三菱電機エンジニアリング

• 竹野下 寛

  長崎大・教育

関連論文

• 電子線超音波顕微鏡の解像度向上への試み
• PA-7 電子線超音波顕微鏡によるMOS-LSIの非破壊・内部観察(P.ポスターセッションA-概要講演・展示)
• PA-6 電子線超音波顕微鏡の解像度向上への試み(P.ポスターセッションA-概要講演・展示)
• PG6 0.8μmルールで製作されたMOS-LSI試料の非破壊内部観察(ポスターセッション1)

スポンサーリンク