G4 角変位自己補正方式の自励振超音波ステッピング・モータ : 非軸対称((2,1))モード円平板構成の場合(強力超音波・アクチュエータ)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1993-12-07

著者

• 陳 肖〓

  上海時計公司

• 日下部 千春

  山形大工・教

• 青柳 学

  山形大工・教

• 富川 義朗

  山形大工・教

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