D-13 高耐電力SAWデバイス電極作成へのDCマグネトロンスパッタ法の適用(ポスターセッション)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1987-12-08
著者
-
山田 純
日立 半導体事業部
-
渡辺 一志
日立家電研究所
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保坂 憲生
日立メディアエレ
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湯原 章綱
日立 マルチメディアシステム開発本部
-
湯原 章綱
日立
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湯原 章綱
日立・家電研
-
渡辺 一志
日立・家電研
-
保坂 憲生
日立・家電研
-
山田 純
日立・家電研
-
岩間 章
日立・東海工場
-
岩間 章
日立製作所(株)
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