量子化学による物性予測シミュレーション : LSI用低誘電率材料設計への適用(インダストリアルマテリアルズ)

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概要

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• 日本応用数理学会の論文
• 2001-03-15

著者

• 松崎 洋市

  新日本製鐡先端技術研究所

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