シリコン単結晶製造プロセスの融液流動と数値シミュレーション(インダストリアルマテリアルズ)

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概要

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• 日本応用数理学会の論文
• 2000-09-17

著者

• 岸田 豊

  新日本製鐵(株)先端技術研究所

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