MEMS技術を用いたマイクロメタンセンサの開発 : 熱耐久性の改善(センサーデバイス,MEMS,一般)

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概要

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電池駆動式都市ガス警報器用センサとして、超低消費電力メタンセンサの開発が強く望まれている。このため、MEMS技術を用いたマイクロガスセンサの研究・開発が盛んに行われている。メタンセンサは、その平均消費電力を極小にするためパルス法により駆動され、且つそのセンサ温度は400〜500℃である。それ故、優れた熱耐久性が要求される。我々は、MEMS技術を用い、800万回以上の熱衝撃(室温-500℃)に耐える超低消費電力メタンセンサを開発したので報告する。
2009-07-23

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