17aA09 引き上げCu希薄合金結晶における転位形成の促進と抑制(半導体バルク,第35回結晶成長国内会議)
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概要
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An addition of small amounts of aluminium or gold suppresses the dislocation formation in the Czochralski grown copper crystal, while nickel addition promotes the formation of slip dislocation. This suggests a contribution of compositional stress due to inhomogeneous distribution of solute atoms to the dislocation formation in the Czochralski growth of copper dilute alloy crystal.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2005-08-17
著者
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