3.2 マイクロプラズマによる無機ナノ粒子の合成と堆積技術(3.結晶化・相変化制御への応用,熱流を伴う反応性プラズマを用いた材料合成プロセス)
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概要
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高周波駆動型の大気圧アルゴンマイクロプラズマを利用して,主原料である金属ワイヤーから金属や酸化物のナノ粒子を合成し,大気中で堆積させる技術を紹介する.本手法ではガス温度の制御がポイントであり,合成する材料の特性に合わせて,使用するマイクロプラズマの熱化しやすい特性を活かすケースと,逆に熱化の抑制が求められるケースとに大別される.熱化の抑制には高周波のパルス供給が有効であり,電圧波形を工夫すればガス温度が室温ほどのマイクロプラズマで金ナノ粒子などを効率よく合成することが可能である.大掛かりな装置を一切必要とせず,主原料は無害な金属ワイヤーであるため,読者の皆様が研究室の卓上にて簡単に実施できるプロセス技術である.
- 2009-03-25
著者
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