3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡(機器紹介)

概要

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平成18年10月に機器分析評価センターに導入された本装置(キーエンス製、3DリアルサーフェスビユーVE-8800)は使いたい人が誰でも簡単に使えるSEM(Scanning Electron Microscope:走査型電子顕微鏡)です。SEMは電子線を走査しながら試料に照射し、試料から出てきた2次電子線を検出器で捉えてCRT上に試料の拡大像を得る装置です。通常のSEM観察では高真空中に試料を置くため真空装置の起動などで観察までに時間がかかり、また試料に導通がないと帯電(チャージアップ)を起こして観察に支障をきたすので、金や白金、カーボンなどの蒸着あるいはスパッタなどの前処理が必要です。さらに、良質な画像を得るためには装置のセッティングや観察条件の調整などの専門知識が求められます。一方、この3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡は真空を引く必要はあるものの電源投入から短時間で観察可能になり、多くの試料が蒸着等の前処理なしでも観察できます。また、パソコン上に示されるナビゲーションに従って観察を進めることができるので、初心者あるいはたまにしかSEMを利用しない方でも安心して使うことができます。