315 ダイヤモンド工具による単結晶シリコンの超精密切削加工 : 加工面粗さと切削過程のパラメータとの関係(OS 材料加工・精密加工(その2))
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-10-12
著者
-
皮籠石 紀雄
鹿児島大学工学部
-
皮籠石 紀雄
鹿児島大学大学院理工学研究科
-
皮籠石 紀雄
鹿大・工
-
近藤 英二
鹿大・工
-
近藤 英二
鹿大
-
岩本 竜一
鹿県工技セ
-
川籠石 紀雄
鹿児島大学
-
近藤 英二
鹿児島大
-
永山 聡女
JALアビ
-
皮籠石 紀雄
鹿大
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