AI-1-4 ナノメートル分解能X線検査装置の開発と撮像事例(AI-1.ベンチャー発 信頼性向上のための新しい評価・分析技術,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)
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概要
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近年、電子顕微鏡による破壊検査に代わり、X線検査装置による非破壊検査が注目を集めている。しかし分解能の面で問題があった。我々は世界一の分解能を誇るナノメートル分解能のX線検査装置の開発に成功した。今回は、100nmを切る分解能を持つ透過型X線顕微鏡と分解能150nmのX線CT検査装置を用いて、これまで観察不能であった半導体の構造解析及び欠陥観察、そして各種材料分析を行なったので、その成果について報告する。
- 2008-09-02