高品質塗布ペンタセン薄膜と薄膜トランジスタ

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• 結晶性有機半導体(ペンタセン)はアモルファスシリコンと同等の移動度を発現するものの難溶性のため塗布形成が困難であったが可溶化により塗布薄膜形成が可能となった.薄膜トランジスタ(TFT)への適用における薄膜高品質化を目指し,溶液からの薄膜結晶成長制御による欠陥低減,TFTの均一性,安定性など信頼性に関する最近の知見について報告する.

• 2009-01-01

著者

• 南方 尚

  旭化成株式会社新事業本部

関連論文

• 高品質塗布ペンタセン薄膜と薄膜トランジスタ
• 塗布ペンタセン薄膜トランジスタ

スポンサーリンク