圧電MEMS光スキャナによるレーザー投射型ディスプレイ(<特集>光に関わる材料の世界その2:光制御材料,デバイスの世界)

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概要

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• We report an optical MEMS (micro electro mechanical system) scanner developed for projection-type image display. A PZT film of 4 micron thickness was deposited onto an SOI (silicon-on-insulator) wafer by an arc discharged reactive ion-plating method to compose piezoelectric unimorph actuators. Technical requirement for the optical scanner is discussed in terms of the scan angle and speed for the VGA (video graphics array) resolution. Two-dimensional scanning mirror mechanisms were designed with a fast resonant axis at 15.8kHz for the horizontal line scan of image and a slow off-resonant axis for the vertical frame refresh at 60Hz. Optical scan angles of horizontal 39 degrees and vertical 29 degrees were experimentally obtained at drive voltages upwards of 40V. A demonstration of VGA-video projection with Red, Green, Blue laser light sources is also presented.

• 2008-10-01

著者

• 安田 喜昭

  スタンレー電気(株)

• 安田 喜昭

  スタンレー電気(株)研究開発センター

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