超局真空対応非接触容量 : 電圧法によるシリコン清浄表面と極薄絶縁膜/シリコン界面の評価

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概要

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• 島根大学の論文
• 2001-12-24

著者

• 吉田 俊幸

  島根大学総合理工学部電子制御システム工学科

• 吉田 俊幸

  島根大学総合理工学部

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