オンチップ光配線技術(配線・実装技術と関連材料技術)
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概要
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光配線はLSIにおけるグローバル配線において電気配線を置き換える可能性を持っている.シリコンフォトニクスは極めて高度に確立された技術である半導体シリコンLSIの製造プロセスを用いて微細な光配線および光回路素子を形成することを可能にする.実際にLSIチップ上に光配線を持ってくるためには,光電変換および電気光変換が鍵となる.ここでは,我々が開発しているプラズモンフォトダイオードおよびナノセラミック電気光学変調器を中心にオンチップ光配線技術について報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-02-01
著者
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