415 電子写真方式による直接配線形成技術(機械力学・計測制御I)
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概要
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複写機などに利用される電子写真方式を適用することで,金属配線パターンを高速かつ高精度にオンデマンド形成する技術を検討した.電子写真方式を用いた金属材料のパターニングにおいては,導電材料の帯電と加熱焼成工程が課題となる.本研究では,液体現像方式を利用して,銀ナノ粒子を直接パターニングし,200℃程度で焼成する方式を検討した.その結果,10μm幅の微細金属粒子パターンの形成を確認した.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-03-14
著者
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