268 アルミナ薄膜のナノインデンテーションに関する分子動力学解析(製膜・膜特性,OSO7 電子・原子・マルチシミュレーションに基づく材料特性評価)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-02
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