CT-1-4 10nm世代に向けたタイミング検証の技術と問題点(CT-1.10nm世代に向けた新LSI技術,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2007-08-29

著者

• 坂本 敏行

  株式会社半導体理工学研究センター開発第1部

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