C-8-1 ボックス回転型6元対向スパッタ装置による超伝導トンネル接合用Al薄膜の作製(C-8.超伝導エレクトロニクス,一般講演)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-08-29
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