A-11-2 圧電バイモルフを用いた摩擦駆動アクチュエータの提案(A-11.超音波,一般講演)
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概要
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- 2007-08-29
著者
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藤原 恒夫
シャープ株式会社光モジュール技術研究所
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江川 智浩
シャープ株式会社光モジュール技術研究所
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松尾 順向
シャープ株式会社精密技術開発センター
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酒井 啓至
シャープ株式会社精密技術開発センター
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松尾 順向
シャープ(株)精密技術開発センター
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西岡 澄人
シャープ株式会社精密技術開発センター
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