硬脆材料のレーザによる精密割断(3.薄板硬脆材のダイシング加工,<小特集>創立110周年記念最新のレーザ加工技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人日本機械学会の論文
• 2007-11-05

著者

• 上田 隆司

  金沢大学自然科学研究科

関連論文

• 割断における温度計測 (特集 レーザダイシング)
• 硬脆材料のレーザによる精密割断(3.薄板硬脆材のダイシング加工,創立110周年記念最新のレーザ加工技術)
• 最新のレーザ加工技術

スポンサーリンク