微小領域結晶方位解析装置(SEM-EBSDシステム)
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概要
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本装置は、ベースとなる走査型電子顕微鏡(JEOL5600、日本電子)にOIM走査型電子顕微鏡用結晶方位測定装置ならびに解析ツール(OIM EBSDシステム、TSL)を組み込んだ装置であり、結晶性材料の様々な場所の結晶方位を自動的に決定してその情報を蓄積し、測定領域内での結晶方位の分布や様々な隣接位置間の方位関係を解析する装置です(図1)。電子線を試料に入射し、得られる後方散乱電子線回折パターン(EBSD)に基づいて結晶方位情報を取得します。結晶構造が既知の金属や半導体、セラミックス材料を対象に選択した領域の結晶方位を連続的に取得することができるため、金属・合金における再結晶過程の評価や半導体配線の配向評価、新しいプロセスで作製した材料の結晶方位解析などに用いることができます。ここでは、基本的な装置構成および解析手法について紹介します。
- 横浜国立大学の論文
著者
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長谷川 誠
横浜国立大学大学院工学研究院機能の創生部門
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長谷川 誠
横浜国立大学教育学部附属養護学校
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福富 洋志
横浜国立大学大学院工学研究院機能の創生部門
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岡安 和人
横浜国立大学工学研究院
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福富 洋志
横浜国立大学大学院工学研究院
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岡安 和人
横浜国立大学大学院工学研究院
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