半導体デバイスの静電気保護(高信頼性半導体デバイスを目指して)

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概要

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• 半導体デバイスの急速な高速化,低消費電力化への開発において採用されてきた先端デバイス構造は静電気に非常に脆弱な構造である.デバイスに組み込む静電気保護回路設計手法もこれらに対応して新たな設計手法が創出,展開されだしているので,ここで紹介する.

• 日本信頼性学会の論文
• 2007-11-01

著者

• 福田 保裕

  沖エンジニアリング(株)

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