イオンビームスパッタリング法による微粒子分散ガラス薄膜の作成と光学特性(a)【光物性】,第42回 物性若手夏の学校(1997年度))
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概要
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イオンビームスパッタリング(IBS)法及びイオンアシスト成膜(IAD)法を用いて微粒子分散ガラス薄膜を作成し、その光学的特性及び膜構造について調べ、膜特性と成膜パラメータとの関係を検討した。
- 1997-12-20
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