Growth of LoW Etch Pit Density (EPD) InP Crystals
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-02-28
著者
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Noda Akira
Nikko Materials Co. Ltd. Compound Semiconductor Materials Department
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HIRANO Ryuichi
Nikko Materials Co.,Ltd., Compound Semiconductor Materials Department
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Hirano Ryuichi
Nikko Materials Co. Ltd. Compound Semiconductor Materials Department