Crystalline Defects in InP-to-Silicon Direct Wafer Bonding : Semiconductors
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2001-08-15
著者
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Camacho Martin
The Angstrom Laboratory Uppsalauniversity
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PASQUARIELLO Donato
The Angstrom Laboratory,UppsalaUniversity
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ERICSSON Fredric
The Angstrom Laboratory,UppsalaUniversity
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HJORT Klas
The Angstrom Laboratory,UppsalaUniversity
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Hjort Klas
The Angstrom Laboratory Uppsalauniversity
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Ericsson Fredric
The Angstrom Laboratory Uppsalauniversity
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Pasquariello Donato
The Angstrom Laboratory Uppsalauniversity