Transmission Electron Microscopy Study of Polycrystalline Si and Si_<0.69>Ge_<0.31> Thin Films : Semiconductors

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 2001-08-15

著者

• Qin Wei

  Institute Of Microelectronics

• Ast Dieter

  Department Of Materials Science And Engineering Cornell University

• KAMINS Theodore

  Hewlett-Packard Laboratories

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