C-6-11 シリコン基板上に形成した受動素子の高周波特性評価(C-6.電子部品・材料,一般講演)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-03-08
著者
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長山 昭
富士電機デバイステクノロジー(株)
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中村 起也
富士電機アドバンストテクノロジー(株)
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安川 和行
富士電機アドバンストテクノロジー(株)
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松田 昭憲
富士電機デバイステクノロジー(株)
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坂田 晃次
富士電機システムズ(株)
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安川 和行
富士電機アドバンストテクノロジー株式会社
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松田 昭憲
富士電機デバイステクノロジー 半導体工場
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