NTM-06: Nano-machining by Cantilever with Diamond Tip Using Atomic Force Microscopy(NTM-I: NON TRADITIONAL MANUFACTURING PROCESS)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2005-06-19

著者

• Ashida K.

  National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology

• Kanda K.

  Nachi-fujikoshi Corp

• KAWASEGI N.

  Toyama University

• TAKANO N.

  Toyama University

• OKA D.

  Toyama University

• MORITA N.

  Toyama University

• YAMADA S.

  Toyama University

• TAKANO S.

  NACHI-FUJIKOSHI CORP

• OBATA T.

  Toyama Industrial Technology Center

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