3-2 SDL法によるLSI回路のダイナミック不良解析(セッション3 LSIの故障解析(2),第17回秋季信頼性シンポジウム)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
最近、LSIをダイナミックに動作させた状態でレーザビーム光をLSIチップに照射し、機能テストのPass/Fail信号をモニターすることで故障解析を行うSDL(Soft Defect Localization)法という新しい手法が提案された。LSI動作のギリギリの状態に電圧や周波数を設定し、レーザの照射熱で抵抗やトランジスタ特性を変化させて、回路の異常や信号のクリティカルパスを見つけ出す方法である。本報告はSDL法をシステムLSIのSRAMマージナル不良解析に適用してSDL法の有効性を示した。
- 2004-11-19