金属表面のエッチングに関する基礎研究
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概要
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Wet chemical etching is used for making microscopical products like lead frames, printed wiring boards, shadow masks and so on. We have investigated the temporal behavior of etching processes of stainless steel (SUS304TA) pre-treated with ultraviolet-light illumination or one not pre-treated. We have also studied the stirring effects of the etching fluid on the stainless steel samples. All the etching experiments were carried out under the ultrasonication. A synergy effect in the stirring and ultrasonication was observed presumably with an increase of the diffusion rate.
- 2002-12-30
著者
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上田 享
(株)渕上ミクロ本社・工場
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楠元 芳文
鹿児島大学理学部生命化学科
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中尾 彰夫
(株)渕上ミクロ
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中尾 彰夫
(株)渕上ミクロ喜入事業所技術部生産技術課
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工藤 圭司
鹿児島大学理学部生命化学科
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楠元 芳文
鹿児島大学理学部又は工学部
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楠元 芳文
鹿児島大学教養部化学教室
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